µã»÷ÓÒÉϽÇ΢ÐźÃÓÑ
ÅóÓÑȦ
ÇëʹÓÃä¯ÀÀÆ÷·ÖÏí¹¦ÄܽøÐзÖÏí
da ga thomo trá»±c tiếpÄ¿Ç°Æû³µµÄ½ø¿Ú¹ØË°Ë°ÂÊÊÇ25%£¬Ôöֵ˰˰ÂÊΪ17%£¬¶ø½ø¿ÚÏû·ÑË°µÄË°ÂÊÖ÷ÒªÒÀ¾Ý·¢¶¯»úÅÅÁ¿¶ø¶¨£¬Ë°ÂÊ´Ó1%~40%²»µÈ¡£Â½Î¯»á»¹³Æ£¬£¬¿Ö¶Ǫ̂ÍåÕûÌåÀûÒæÓв»ÀûÓ°Ï죬¾Éó²é»á¾öÒé²»ÓèÐí¿É¸°Â½¡£
¡¶Òâ¼û¡·Ö¸³ö£¬¶½²ì½øפÆڼ䣬±»¶½²ìµØ·½Ó¦°´ÒªÇó½¨Á¢»úÖÆ£¬Á¢ÐÐÁ¢¸Ä£¬±ß¶½±ß¸Ä£¬ÇÐʵ½â¾öÈËÃñȺÖÚÉú̬»·¾³ÐÅ·ÃÎÊÌ⣬ÇÐʵÍƶ¯Í»³öÉú̬»·¾³ÎÊÌâ²é´¦µ½Î»¡¢Õû¸Äµ½Î»¡¢ÎÊÔðµ½Î»¡£ÔÚÕû¸Ä¹¤×÷ÖÐÒªÖƶ©¿ÉÐз½°¸£¬¼á³ÖÒÀ·¨ÒÀ¹æ£¬¼ÓÇ¿Õþ²ßÅäÌ×£¬×¢ÖØͳ³ïÍƽø£¬Ñϸñ½ûÖ¹¡°Ò»ÂɹØÍ£¡±¡°ÏÈÍ£ÔÙ˵¡±µÈ·óÑÜÓ¦¶Ô×ö·¨£¬¼á¾ö±ÜÃ⼯ÖÐÍ£¹¤Í£ÒµÍ£²úµÈ¼òµ¥´Ö±©ÐÐΪ¡£×îºó£¬¸Ðл´óÌÆ¡£ÕâÊÇÎÒ¹¤×÷µÄ×îºóÒ»Õ¾¡£¸Ðл´óÌÆÕâ¸ö¼¯Ì壬Ïñ¿íÀ«µÄ´óº£½ÓÄÉ°üÈÝÁËÎÒ£¬¸øÎÒ°²È«ºÍÎÂů¡£
Ëæºó£¬ºúñûÓÖͶÈë°×ʲÏçÔÖºóÖؽ¨¹¤×÷¡£°×ʲɽÌ廬ÆÂÊǵ±Ê±ËÄ´¨Ê¡Èý´óµØÖÊÔÖº¦µãÖ®Ò»£¬
´Ëºó£¬³¤½´æ´¢Ò²ÓÀ´ÁË×Ô¼ºµÄµÚһ̨¹â¿Ì»ú£¬Í¬ÑùÀ´×ÔASML£¬²»¹ýÊÇ193nm³Á½þʽ£¬ÓÃÓÚ²ú20-14nm¹¤ÒÕµÄ3DNANDÉÁ´æ¾§Ô²£¬7200ÍòÃÀԪһ̨¡£Ëù³¤ÐìËÉÁÖºÍÃñ¾¯¸Ïµ½ÏÖ³¡ºóµÃÖª£¬ÕÅijÊDZ¾ÏªÊÐÄÚÒ»¼ÒÌdz§µÄ˾»ú£¬µ±ÈÕÉÏÎç10ʱÐí£¬ÕÅij¿ª³µ¸ø¸ÃÑø·ä³¡ËÍÀ´20´ü°×ÌÇ£¬ÊÕµ½5800Ôª»õ¿î£¬²»Áϻس§ºóÉϽ»Ê±·¢ÏÖÓÐÒ»ÕÅ100ÔªÃæÖµµÄ¼Ù±Ò¡£°´ÕÕ³§Äڹ涨£¬ÊÕµ½¼Ù±ÒµÄËðʧÓÉ˾»ú³Ðµ£¡£ÔÚѧԱȺ£¬Ñ§Ô±Ãǽ«Ä¿±êÅ®ÐÔºÍÒѵÃÊÖÅ®ÐÔ·Ö±ð³Æ×÷¡°ÁÔÎ¡¢¡°³èÎ£¬²¢Ò»ÆðÌÖÂÛ¡°á÷ÁÔ¡±µÄ¾ÑéµÃʧ¡£